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TEM（透射電子顯微鏡）

應(yīng)用：
透射電子顯微鏡在材料科學(xué) 、生物學(xué)上應(yīng)用較多。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，樣品的密度、厚度等都會影響到最后的成像質(zhì)量，必須制備更薄的超薄切片，通常為50～100nm。所以用透射電子顯微鏡觀察時(shí)的樣品需要處理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對于液體樣品，通常是掛預(yù)處理過的銅網(wǎng)上進(jìn)行觀察。
樣品要求：
粉末樣品基本要求：
（1）單顆粉末尺寸最好小于1μm；
（2）無磁性；
（3）以無機(jī)成分為主，否則會造成電鏡嚴(yán)重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍；
塊狀樣品基本要求：
（1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察；
（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機(jī)械方法制成粉末來觀察；
（3）無磁性；
用途
X射線能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。應(yīng)用電子通道增強(qiáng)效應(yīng)還可以測定雜質(zhì)元素或合金元素在有序化合物中占據(jù)亞點(diǎn)陣位置的百分?jǐn)?shù)。
優(yōu)點(diǎn)
（1）能譜儀探測X射線的效率高；
（2）在同一時(shí)間對分析點(diǎn)內(nèi)所有元素X射線光子的能量進(jìn)行測定和計(jì)數(shù)，在幾分鐘內(nèi)可得到定性分析結(jié)果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長；
（3）結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性和重現(xiàn)性都很好；
（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。

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