探針式表面輪廓儀:
P-7 是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng),歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。P-7建立在市場(chǎng)P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng) 的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的卓越測(cè)量性能,并作為臺(tái)式探針 輪廓儀平臺(tái)提供了極高的性?xún)r(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲 度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。
主要功能
臺(tái)階高度:幾納米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接 ? 視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序,模式識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化