應(yīng)用:
–可以測量最大5層重疊薄膜的厚度和折射率。
–可測量如氧化物,氮化物,光阻,導(dǎo)電玻璃,聚合物和半導(dǎo)體薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技術(shù)指標(biāo)參數(shù):
–對特定的介電質(zhì)測量厚度范圍20納米到150微米。
–對特定的材料厚道測量精度小于厚度的百分之一。
–測量波長范圍350納米到1450納米。
–自動測量點定位的功能,電機驅(qū)動的樣品臺最大可滿足直徑200毫米樣品使用。
–有完備的光學(xué)參數(shù)數(shù)據(jù)庫可供調(diào)用。